★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构
★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度
★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能
★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量
特性介绍
♦ 採用了划时代性模组结构的超薄型平台
在基座、工作台之间的四端平面装上组合了MINI STAGE XYθ轴滑台组和特殊交叉滚柱轴承的模组之独特性，实现了超薄型结构。
♦ 高刚性、高精度
对于构成模组的MINI STAGE XYθ轴滑台组的特殊交叉滚柱施加了预压，达到高精度、高刚性的结构。
♦ 超薄型、轻量化、中空结构
採用XYθ模组化结构，实现了无中座、薄而轻的机构，可作为光学式检查装置或导通测试时使用。
♦ 润滑系统
在各种运动轨道加入润滑系统，确保润滑脂补充，提高对位平台使用的寿命及精度。
♦ 尺寸齐全 适用各种机型运用
工作台面尺寸口100mm~口1500mm，为了可以对应更大的精度荷载，可藉由增加从动模组之数量来达成。
产业应用介绍
♦ 面板貼合機
♦ 面板貼膜機
♦ 網版及3D網版印刷
♦ 玻璃側角及磨邊設備
♦ Wafe對位設備
♦ P.C.D曝光設備
♦ 軟體裁切設備
♦ 半導體設備