1. 产品特性
采用了划时代性模块结构的超薄型平台
在基座、工作台之间的四端平面装上组合了XYθ轴滑台组和特殊交叉滚柱轴承的模块之独特性，实现了超薄型结构。
高刚性、高精度
对于构成模块的 XYθ轴滑台组的特殊交叉滚柱施加了预压，达到高精度、高刚性的结构。
超薄型、轻量化、中空结构
采用XYθ模块化结构，实现了无中座、薄而轻的机构，可作为光学式检查装置或导通测试时使用。
润滑系统
在各种运动轨道加入润滑系统，确保润滑脂补充，提高对位平台使用的寿命及精度。
尺寸齐全适用各种机型运用
工作台面尺寸口100mm~口1500mm，为了可以对应更大的精度荷载，可藉由增加从动模块之数量来达成。
2. 产品应用
面板贴合机
面板贴膜机
网版及3D网版印刷
玻璃侧角及磨边设备
Wafe对位设备
P.C.D曝光设备
软体裁切设备
半导体设备